以下が「Pirani Vacuum Gauge(ピラニ真空計)」の簡単な説明です:
目次
🔧 Pirani Vacuum Gauge(ピラニ真空計)とは?
気体の熱伝導性を利用して真空度(圧力の低さ)を測定するセンサです。
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📘 仕組み(やさしく説明)
細い金属線(フィラメント)を電気で加熱します。
周囲の気体が多いと、熱が多く逃げてフィラメントが冷えます。
気体が少ない(=真空に近い)と、熱が逃げにくくなり、フィラメントが熱いままになります。
フィラメントの温度変化(電気抵抗の変化)を測ることで、気体の量=圧力を間接的に測定します。
🎯 主な用途
真空装置やポンプの圧力モニタ
半導体・医療・分析装置などの真空制御
図:Pirani Vacuum Gaugeの仕組み
こちらが動作の簡単な概念図です👇
(※あくまで構成イメージです)
+————————–+
| Pirani Vacuum Gauge |
+————————–+
|
+———–+
| Filament | ← 細い金属線(加熱)
+———–+
|
熱が逃げる(=熱伝導)
↓
気体分子の量に依存(=圧力)
【気体が多い場合】
→ 熱が多く逃げる → フィラメント温度↓
【気体が少ない場合(真空)】
→ 熱が逃げない → フィラメント温度↑
→ 抵抗の変化を計測 → 圧力として表示
英語での簡単な説明文
Here is a simple English explanation you can use:
What is a Pirani Vacuum Gauge?
A Pirani vacuum gauge is a sensor that measures vacuum levels (low pressure) by detecting changes in the thermal conductivity of gas.
🔧 How it works:
A thin metal filament inside the gauge is electrically heated.
When the gas pressure is high, more gas molecules are present and they carry away heat, cooling the filament.
When the gas pressure is low (i.e., in a vacuum), fewer molecules are available, so less heat escapes, and the filament stays hotter.
The temperature change (measured through the filament’s electrical resistance) is used to calculate the pressure.
🎯 Typical Applications:
Vacuum pumps
Semiconductor manufacturing equipment
Laboratory and medical vacuum systems